コレット工業株式会社

LMT-Sシリ−ズ

製品概要

半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、各種素材など-120℃から350℃温度変化による熱変形をレーザー三次元測定機による非接触にて測定することを目的としたチャンバです。

製品特長

正確な温度制御

流量制御された液体窒素と高精度温調器のヒーター出力制御による高精度の温度制御と温度保持精度±0.2℃以内を実現しています。

均一な表面温度

試料ステージにはクライオ処理、アニール処理による熱歪みを最小限に抑えた熱伝導性の高い純銀を使用しており、表面温度を均一に保つことができます。

均一な平面度

純銀試料ステージに温度変化を与えた後、チャンバ内組立後、三次加工による機械精度の平面度を確保しています。

幅広い適応性

各種レーザー三次元測定機メーカーを問わず取付脱着が可能です。

高品質で低価格

自社生産による、製作工程、品質管理の徹底により、高品質で低価格にて提供しております。

特注品の製作

お打ち合わせに始まり、設計、製作、組立、テストの工程全てを自社で行い、特注品の製作も数多く手がけております。

標準機器構成図

チャンバ [C-710] 詳細

• 高温度使用時においても水冷によるチャンバケースは常温に保っており、火傷などの危険に対する配慮がなされています。
• 低温度使用時においては、液体窒素の流れる配管をSUS製テーパーネジ止めによる割れ、脱落、漏れがない接続ができ、凍傷の危険に対する配慮がなされています。
• N2過圧式による液体窒素の供給においても一定圧を超えると圧力を逃す精密減圧弁をサイフォンに設けており、安全に液体窒素の供給ができます。
• 液体窒素供給ホースには安全性の高い（SUS＋シリコン）専用ブレードホースを使用しています。

【チャンバ S-5-Lシリーズ】

試料チャンバ名	C-705	C-707	C-710	C-715
チャンバ型式	S-5-50L	S-5-70L	S-5-100L	S-5-150L
測定温度	-120℃⇔350℃	-100℃⇔350℃	-80℃⇔350℃	-50℃⇔350℃
試料サイズ(MAX)	50mm	70mm	100mm	150mm
試料サイズ（厚さ）	10mm（MAX）
ワーキングディスタンス(※1)	15mm以上
試料設置	上部より設置
試料雰囲気	大気、不活性ガス雰囲気中
観察窓部(石英ガラス)	50mm	70mm	100mm	150mm
観察窓部(厚さ)	1.0mm
観察窓部(材質)	石英ガラス
給水容量	市水2L/min
水冷機構(※2)	空冷式水冷循環装置（OP）
本体・上蓋の材質	アルミニウム合金
ステージの材質	銀・ステンレス
寸法（mm）	W160XD160XH53	W160XD160XH53	W190XD190XH53	W250XD250XH53
重量(kg)	3.8	4.2	4.8	6.5

• ※1 対物レンズからサンプルまでの距離。試料の厚さにより変更可能です。
• ※2 オプションにより設置可能です。

サーモコントローラー

MC-1000Rシリーズ	MC-1000RPシリーズ
MC-1000R MC-1000R-DC	MC-1000RP MC-1000RP-DC

LN2流量コントローラー

MC-500	MC-500MF

• ※ サーモコントローラー、LN2流量コントローラーの詳細をご覧いただく場合は、製品の写真をクリックしてください。