コレット工業株式会社
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サーモコントローラ
サーモコントローラ MC-1000R / MC-1000R-DC
 MC-1000R |
 MC-1000R-DC |
コンパクトで軽量、高精度のサーモコントローラです。
- 停電時における自己保存回路を採用。
- 過昇温ヒータカット機構を内蔵。
- 微小電流抵抗を測定するにあたり、電気的外乱を避けるため、ヒーター出力はDC電源を用いています。（MC-1000R-DCのみ）
| 温度コントローラーNo. （型番） |
MC-1000R | MC-1000R-DC |
|---|---|---|
| 入力レンジ | -200℃〜1373℃（0℃〜1768℃）※1 | |
| 分解能 | 算分解能 18bit 15万カウント 表示分解能 15720 制御演算周期 25ms（最速） |
|
| 設定精度 | ±0.5℃、安定時±0.1℃（±0.3℃）※1 | |
| スロープ機能 | 0.1℃〜300℃（昇温/降温） | |
| 温度表示 | PV5桁LED | |
| 最小温度表示 | 0.1℃ | |
| 入力コード | 熱電対JIS.K（熱電対JIS.R）※1 | |
| プログラム | マルチメモリエリア機能によるプログラムコントロール | |
| 過昇温ヒーターカット機構 | ヒーター出力の上限値を任意に設定することができます | |
| 外部出力 | RS-232C、DC 0〜10V | |
| 寸法（mm） | W210XD350XH133 | W320XD450XH177 |
| 電源 | AC100V | |
- ※1 MT-1200の場合
サーモコントローラ MC-1000RP
温調器部分に「PF900」ユニットを組込みより高機能かつ安定した性能を実現しました。
- 停電時における自己保存回路を採用。
- 過昇温ヒータカット機構を内蔵。
- 32パターン、32セグメントのプログラム制御が可能です。
- レベルPIDとセグメントPID各8種使い分けが可能となり、高性能温度制御が可能となりました。
- 新制御アルゴリズムによる、オーバーシュート、アンダーーシュートの少ない制御が可能です。
サーモコントローラ MC-1000RP-DC
プローブを使った、微小電流及び抵抗値の測定を目的とした温度コントローラです。
- MC-1000RPの高性能に加え、微小電流抵抗の測定における電気的外乱を避けるためヒーター出力はDC電源を使用。
LN2流量コントローラ MC-500
チャンバ内をRT（0℃）以下に冷却する際、液体窒素を使います。LN2流量コントローラーは気化した窒素の質量流量を設定温度に合わせてコントロールします。温度コントローラー（MC-1000シリーズ）と合わせて使います。
- フローメーターで流量を読み取ることができます。
- LN2流量調整バルブ、結露防止ガスカーテン調整機能を内蔵しています。
- 結露防止ガスカーテンにサーモスタットを内蔵しています。
LN2流量コントローラ MC-500MF
マスフロータイプのLN2流量コントローラです。温度コントローラー（MC-1000シリーズ）と合わせて使います。
- 標準機能として瞬時／積算流量表示、ガス種類切替機能、上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など様々なニーズに対応できるよう各種装備しています。
- マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、流れの抵抗となる構造体が少ないため、低圧力損失を特長としています。
- センサが直接気体に触れて計測するため、高速応答性を実現しています。
- 広い流量域での高精度を実現するため、マスフローメーターは、RD（読み値）精度規定を採用しています。
