コレット工業株式会社

温度可変高精度恒温チャンバ

高真空から大気まで恒温チャンバのスペシャリスト「コレット」が半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の熱変形、電気特性、光学特性、凍結乾燥等の各種温度特性の測定、観察を可能とするチャンバを提供いたします。

三次元レーザー測定機用（S-5、S-5L）

三次元レーザー測定装置等に取付けることを前提に、温度変化による試料の熱変形を測定することを目的としたチャンバです。試料ステージには液体窒素とアニーリングによる熱歪みを最小限に抑えた純銀材を使用し、試料ステージをチャンバに組込み後、二次加工による機械精度の平行度を確保しています。

タイムオブフライト測定用（S-5A）

純銀の試料ステージ中心にレーザー光を透過させる開口部を設けてあるため、高電圧をサンプルに印加し、レザーパルスを照射した際の過渡微小電流の測定ができます。またレーザー素子、LED、OLED等の発光特性を測定することも可能です。ヒーターからの漏れ電流を防ぐための電気的シールドを施しています。

凍結乾燥用（S-10V）

医療品、食料品等を凍結乾燥させる過程において、結晶の変化を顕微鏡下で観察することを目的としたチャンバです。
排気口に25KF、真空ゲージに16KFを設けてあり、試料用ガラス内にセンサーを直接差込、試料温度と測定温度の差を極力少なくする工夫がされています。

高真空測定用（S-20V）

S-5A型の高真空タイプです。上下にゼロレングス石英ビューポートを設けてあります。